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UL1000 Fab 可移動(dòng)式英福康氦氣檢漏儀，通過儀器的干式泵技術(shù)，可以消除被測部件或設(shè)備被碳?xì)浠衔锘蝾w粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟(jì)性之間提供了最加的性價(jià)比。它提供先近的 10-12mbar·l/s 檢測極限，具備合理的短抽氣時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間的特點(diǎn)。

UL3000 Fab 可移動(dòng)式英?？岛鈾z漏儀，長久以來，INFICON泄漏檢測技術(shù)一直是高性能和易用性方面的標(biāo)干。UL3000 Fab有著當(dāng)今市場上極快的泄漏檢測速度，可提供最加用戶體驗(yàn)。UL3000 Fab專為滿足半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的專業(yè)要求而開發(fā)，如半導(dǎo)體和光電顯示(包括子部件)的泄漏測試。